電容式傳感器與電(dian)阻(zu)式、電(dian)感式等(deng)傳感器相比有(you)如下一(yi)些缺(que)點：

1.高阻(zu)抗、小(xiao)(xiao)功率，因而(er)所(suo)(suo)需的輸入(ru)(ru)力(li)很(hen)小(xiao)(xiao)，輸入(ru)(ru)能量也很(hen)低(di)。電(dian)容(rong)式傳(chuan)感器因帶電(dian)極(ji)板間(jian)靜電(dian)引力(li)極(ji)小(xiao)(xiao)，因此(ci)所(suo)(suo)需輸入(ru)(ru)能量極(ji)小(xiao)(xiao)，所(suo)(suo)以(yi)特(te)別適(shi)宜用來解決輸入(ru)(ru)能量低(di)的測量問題；

2.溫度穩定性(xing)好，傳(chuan)感器的電容值一般與電極(ji)材料(liao)無關，有利于選擇溫度系數低的材料(liao)，又因本身發熱極(ji)小，對(dui)穩定性(xing)影響甚微(wei)；

3.結構簡單，適應(ying)性強(qiang)，待測(ce)體是導體或半導體均可，可在惡劣環境(jing)中工作；

4.動(dong)態(tai)響應(ying)好，由于極(ji)板間的靜(jing)電引力很(hen)小，可動(dong)部分做得(de)很(hen)小很(hen)薄，因(yin)此其固有頻率(lv)很(hen)高(gao)，動(dong)態(tai)響應(ying)時間短，能在幾(ji)兆赫的頻率(lv)下(xia)工作，特別(bie)適合動(dong)態(tai)測量。

5.可以(yi)實(shi)現(xian)非(fei)接觸(chu)測(ce)量，具有平(ping)均(jun)(jun)效(xiao)應，當采用非(fei)接觸(chu)測(ce)量時，電容(rong)式傳(chuan)感器(qi)具有平(ping)均(jun)(jun)效(xiao)應，可以(yi)減小工作表面粗糙等對測(ce)量的影響。